現代社会に必要不可欠な半導体。

TOWAは超精密金型技術を中心に、その半導体分野で世界のトップを走り続けてきました。
「次世代」をフィールドに、顧客ニーズの1/4歩先の新しい未来を創造していくTOWAの事業領域をご紹介します。

TECHNOLOGY

半導体の生産に欠かせないTOWAの技術

半導体は、複数の工程を経て生産されます。生産工程の中でも、特にICチップの保護に欠かせない
「モールディング」と「シンギュレーション」というパートをTOWAの技術が支えています。
ここでは、前工程の一部の流れから、後工程の一部であるTOWAの「モールディング」と「シンギュレーション」の技術をイラストで紹介します。

TECHNOLOGY
01
前工程シリコンウェハ製造

単結晶シリコンのインゴットをウェハ(円板状)に加工する。

TECHNOLOGY
02
前工程マスク(回路パターン)設計

IC回路が描かれた回路マスクのパターンをウェハ上に投影し、
フォトレジストを介してパターンを焼き付ける。

TECHNOLOGY
03
後工程ダイシング

ダイヤモンドブレードでウェハをチップごとに分割する。

TECHNOLOGY
04
後工程ボンディング

ウェハチップの電極をワイヤーでリードフレームに固定する。

TECHNOLOGY
05
後工程モールディング

配線が完了したICチップと樹脂をセッティングし、装置正面のボタンを押すことで、
装置内の型に樹脂が充填され、全自動でICチップを封止することができる。

TOWAが作っています!

モールディング装置

樹脂によって半導体と外部を電気的に絶縁して封止するモールディング技術は、
半導体の信頼性を確保するために不可欠です。

「モールディング」って何?
TECHNOLOGY
06
後工程シンギュレーション

モールディング後のICチップを装置内のブレードで1枚ずつに切り分けます。
装置内ではカットだけでなく、洗浄や乾燥まで自動で行い、半導体が完成する最後の仕上げ工程になります。

TOWAが作っています!

シンギュレーション装置

モールドしたIC チップの切り離し、パッケージングをするシンギュレーション技術は、
生産性向上に貢献しています。

そして完成した半導体は、私たちの生活に欠かせない様々な製品に使われます!

01

スマートフォン・PC

02

自動車

03

医療

04

バイオ・科学

05

ゲーム機・家電

06

銀行ATM

繋がる、次の技術革新へ。

TOWAはモールディング装置の核となる「超精密金型技術」を応用し、新たなテクノロジーを世界へ発信しています。

OUR COMMITMENT TO TECHNOLOGIES

ナノオーダー(1mmの100万分の1)で作られた半導体チップを衝撃(振動、落下)や
環境(光、温度、湿度)から守るために特殊な樹脂で覆い固める技術のことです。

デファクトスタンダード
トランスファ方式
デファクトスタンダード

金型に溶かした樹脂を充填し、硬化させることで、ICチップを覆い固める技術です。1982年にTOWAが開発し、ICチップのモールディングにおいて、世界中で用いられている手法です。
複雑な形をしたICチップのモールディングも可能で、幅広い要望に対応できるのが特徴です。
装置にタブレット状の樹脂をセットし、ICチップをセットした金型の中にその樹脂を流し込むことでモールド(封止)が完了します。

特許技術
コンプレッション方式
デファクトスタンダード

溶かした樹脂の中にICチップを浸し入れることで、ICチップを覆い固める技術です。
2006年に新たにTOWAが開発した技術で、トランスファ方式におけるゲートやランナーなどが不要になり、樹脂を廃棄することがない(樹脂使用効率100%)ため、環境への配慮と生産効率向上が実現できます。
装置に顆粒状の樹脂をセットし、金型にセットしたICチップと圧着させることでモールド(封止)が完了します。